반도체 파운드리 공정 장비 '국산화 탄력’
작성자 : tychung1 분류 : 지능형 센서 및 반도체 | 공통 작성일 : 2022.01.06 08:33:48 추천 : 0 조회 : 485 키워드 : 반도체,공정장비
국내 반도체 장비업계가 새해 외산 일색인 파운드리(위탁생산)공정 장비 시장을 공략한다. 파
운드리 공정은 초미세 회로 구현을 요구해 메모리보다 장비 개발난도가 높다. 미국, 네덜란드,
일본 장비 회사가 독점해 온 이유다
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원익IPS는 파운드리 공정 내 극자외선(EUV) 장비와 호환성을 갖춘 반도체 장비를 개발한다.
하드마스크 증착 장비와 원자층증착(ALD) 등 신규 장비 후보군을 검토 중이다.
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AP시스템은 기존 메모리 반도체용 급속열처리장비(RTP)를 파운드리 시스템 반도체용으로 개
선한다. 상반기에 제품을 선보인다. 주성엔지니어링도 주력 제품인 ALD 장비와 화학기상증착
장비(CVD)를 파운드리용으로 개선한다. 파운드리 고객사와 함께 개발 중인 것으로 알려졌다.
피에스케이도 파운드리에 적용할 수 있는 신규 장비를 공략한다.
https://www.etnews.com/20220105000183